4200-SCS Источник питания постоянного тока

Артикул:

11773

Производитель:

Цена по-запросу

Под заказ

Система измерения параметров полупроводников KEITHLEY 4200-SCS

Технические характеристики

Измерительные модули для KEITHLEY 4200-SCS
Измерительные модули предназначены для снятия ВАХ на постоянном токе. Они устанавливаются в слоты базового блока системы 4200-SCS. На одно шасси 4200- SCS возможно установить до 9 измерительных модулей 4210-SMU или 4200-SMU
Модули средней мощности 4200-SMU

7 токовых диапазонов для генерации и измерения :
от 100 нА (полная шкала) до 100 мA (полная шкала).
Разрешение:
от 100 фA до 100 нA – в режиме измерения
от 5 пA до 5 мкА - в режиме генерации
4 вольтовых диапазона для генерации и измерения
от 200 мВ до 200 В
Разрешение:
от 1 мкВ до 200 мкВ - в режиме измерения
от 5 мкВ до 5 мВ - в режиме генерации
Максимальное выходное напряжение
21 В при токе 100 мА
210 В при токе 10 мА
Опциональный токовый предусилитель (4200-PA) расширяет токовые диапазоны дополнительно:
Диапазоны : 1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА

Модули большой мощности 4210-SMU

9 токовых диапазонов для генерации и измерения :
от 100 нА (полная шкала) до 1 A (полная шкала).
Разрешение:
от 100 фA до 1 мкA – в режиме измерения
от 5 пA до 50 мкА - в режиме генерации
4 вольтовых диапазона для генерации и измерения
от 200 мВ до 200 В
Разрешение:
от 1 мкВ до 200 мкВ - в режиме измерения
от 5 мкВ до 5 мВ - в режиме генерации
Максимальное выходное напряжение
21 В при токе 1 А
210 В при токе 10 мА
Опциональный токовый предусилитель (4200-PA) расширяет токовые диапазоны дополнительно:
Диапазоны : 1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА

Токовый предусилитель 4200-PA
Расширяет токовые диапазоны дополнительно:
1 пА, 10 пА, 100 пА, 1 нА, 10 нА

Диапазон тока	Макс.напряжение	Разрешение (измерение)	Точность измерения ±(% от шкалы + А)	Разрешение (генерация)	Точность генерации ±(% от шкалы + А)
4210-SMU	1 А	21 В	1 мкА	0,100% + 200 мкА	50 мкА	0,100% + 300 мкА
4210-SMU	100 мА	210 В	100 нА	0,045% + 3 мкА	5 мкА	0,050% + 15 мкА
4200-SMU и 4210-SMU	100 мА	21 В	100 нА	0,045% + 3 мкА	5 мкА	0,050% + 15 мкА
	10 мА	210 В	10 нА	0,037% + 300 нА	500 нА	0,042% + 1,5 мкА
	1 мА	210 В	1 нА	0,035% + 30 нА	50 нА	0,040% + 150 нА
	100 мкА	210 В	100 пА	0,033% + 3 нА	5 нА	0,038% + 15 нА
	10 мкА	210 В	10 пА	0,050% + 600 пА	500 пА	0,060% + 1,5 нА
	1 мкА	210 В	1 пА	0,050% + 100 пА	50 пА	0,060% + 200 пА
	100 нА	210 В	100 фА	0,050% + 30 пА	5 пА	0,050% + 30 пА
4200-SMU и 4210-SMU с опцией 4200-PA	10 нА	210 В	10 фА	0,050% + 1 пА	500 фА	0,060% + 3 пА
	1 нА	210 В	3 фА	0,050% + 100 фА	50 фА	0,060% + 300 фА
	100 пА	210 В	1 фА	0,100% + 30 фА	15 фА	0,100% + 80 фА
	10 пА	210 В	0,3 фА	0,050% + 15 фА	5 фА	0,500% + 50 фА
	1 пА	210 В	100 нА	1,000% + 30 фА	1,5 фА	1,000% + 40 фА

Диапазон напряжения	Максимальный ток		Разрешение измерения	Точность измерения ±(% от шкалы + А)	Разрешение (генерация)	Точность генерации ±(% от шкалы + А)
Диапазон напряжения	4200-SMU	4210-SMU	Разрешение измерения	Точность измерения ±(% от шкалы + А)	Разрешение (генерация)	Точность генерации ±(% от шкалы + А)
200 В	10,5 мА	105 мА	200 мкВ	0,015% + 3 мВ	5 мВ	0,02% + 15 мВ
20 В	105 мА	1,05 мА	20 мкВ	0,01% + 1 мВ	500 мкВ	0,02% + 1,5 мВ
2 В	105 мА	1,05 мА	2 мкВ	0,012% + 150 мкВ	50 мкВ	0,02% + 300 мкВ
200 мВ	105 мА	1,05 мА	1 мкВ	0,012% + 100 мкВ	5 мкВ	0,02% + 150 мкВ

Интегрированный модуль заземления:

Выходной разъем: двойной триаксиальный, тройной клемник
Максимальный ток 2,6 А при двойном триаксиальном подключении или 4,4 А через тройной клемник
Нагрузочная емкость – не ограничена
Сопротивление кабеля: силового – менее 1 Ом
Сенсорного - менее 10 Ом.

Измерение CV (вольт-фарадных) характеристик С-V измерения в системе 4200- SCS осуществляются с помощью:

встраиваемой опции CV-метрии 4210-CVU
опции расширения для проведения мощной CV-метрии 4200-CVU-POWER
квазистатическим методом CV-метрии при помощи модулей 4200-SMU или 4210-SMU
с опцией 4200-PA
новым патентованным методом ультранизкочастотной CV-метрии (10 мГц...10 Гц) при помощи модулей 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA

Опция CV-метрии 4210-CVU может быть установлена в систему которая уже эксплуатируется или заказана при первоначальной комплектации системы.
Встроенный C-V модуль обеспечивает C-V измерения с параметрами:

частотный диапазон от 1 кГц до 10 МГц
наилучшее разрешение тестового сигнала 1 кГц
выходной уровень 10 мВ...100 мВ
диапазоны измерения: 1пФ/10 пФ/100 пФ/1 нФ/10 нФ/100 нФ/1 мкФ (зависит от частоты тестового сигнала)
внутренний источник постоянного смещения в диапазоне ±30 В (60 В диф.)
разрешение 1 мВ
максимальный ток 10 мА
режим свипирования
параметры свипирования: постоянное смещение, частота, переменное напряжение
закон: линейный,пользовательский
количество точек: 4096
Измеряемые параметры: Cp-G, Cp-D, Cs-Rs, Cs-D, R-jX, Z-Theta

Высокоскоростная цифровая архитектура позволяет строить графики С-V в режиме реального времени.
4210-CVU содержит широкий набор образцов программ, библиотек тестов и примеров экстракции параметров:

Стандартная C-V метрия: для обычных МОП-транзитовов, диодов и конденсаторов
MOScap: Измерение C-V на МОП-конденсаторах
MOSFET: Измерение C-V на МОП-транзисторах
Время жизни: Определение скорости генерации и время жизни носителей, (график Зебрста) для МОП-конденсаторов
Мобильные ионы: Определение подвижного заряда с помощью измерений на разных темепературах
Емкость: Снятие характеристик как C-V так и C-f (от частоты) на МИМ (металл –изолятор –металл) конденсаторах
PNjunction: Измерение емкости p n перехода или диода Шоттки как функции приложенного постоянного смещения
Photo Voltaic cell: Измерение как прямой так и обратной характеристики ячеек солнечных батарей cell
BJT: Измерение емкости (при нулевом смещении) между выводами биполярного транзистора (База-эммитер, База-коллектор, Эммитер-коллектор)
I-V/C-V с переподключением: Демонстрация с использованием измерительных модулей SMUs, опции CVU, и переключательных матриц and 707A/708A в одном проекте
Емкость межсоединений: Измерение C-V малой межконтактной емкости на подложке
Нанопроволоки: Проведение C-V измерений на двухвыводном приборе на базе нанопроволоки
Flash: Проведение C-V измерений на типичном приборе памяти на базе плавающего затвора

Опция расширения для проведения мощной CV-метрии 4200-CVU-Power

Диапазоны измерения от 1 пФ до 1 нФ
Тестовый сигнал от 100 кГц до 10 МГц (10 мВ...100 мВ)
Источник постоянного смещения ±200 В (400 В диф.) с разрешением 5 мВ
Максимальный ток 100 мА (для 4200-SMU) или 300мА (для 4210-SMU)
Измеряемые параметры: Cp-Gp, DCV, временные метки

4200-CVU-Power применяется для тестирования:

мощные устройства
дисплеи
LDMOS
устройства памяти

Квазистатический способ CV-метрии

Два модуля 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA
Низкий уровень шумов благодаря уникальному методу Ramp Rate
Поддержка постоянного смещения ±200 В
Библиотеки тестов с KTEI

Применяется для тестирования:

CMOS малой мощности
некоторые типы дисплеев (индикаторов)
различные устройства с низким током утечки

Ультранизкочастотная CV-метрия

Два модуля 4200-SMU или 4210-SMU с опцией 4200-PA (частота 10 мГц...10 Гц)
Сверхнизкий уровень шумов
Диапазон измерения от 1 пФ до 10 нФ
Экстракция:Cp-Gp, Cp-D, Cs-Rs, Cs-D, R-jX, Z-Theta, DCV, частота, временные метки

Применяется для тестирования:

CMOS
органическая электроника (OLED, OFET, OPVC)
устройства памяти
тонкопленочные транзисторы (TFT)

Ультрабыстрое тестирование
В системе 4200-SCS доступно два вида генераторов импульсов:

Генератор импульсов типа 4220-PGU
Модуль ультрабыстрого тестирования 4225-PMU

Обе модели поддерживают:

Два выходных канала
Стандартный (2-уровневый) импульс
Segment Arb
Формирование сигнала произвольной формы
Каждый выходной сигнал имеет два диапазона выхода:
10 В (высокий импеданс; 5 В с 50 Ω)
40 В (высокий импеданс; 20 В с 50 Ω)

Модель 4220-PGU является только двуканальным генератором импульсов напряжения.
Модуль ультрабыстрого тестирования 4225-PMU выполняет:
импульсное тестирование: генерация импульса/измерение (аналогично работе измерительных модулей)
переходная ВАХ: захват формы; интегрированные измерения тока и напряжения во времени
импульсный генератор :двух и мультиуровневый импульс; генерация сигналов произвольной формы; генерация пользовательской формы сигнала из сегментов Segment ARB
Для работы с малыми токами используются модули предусилителей/коммутаторов 4225-RPM
Амплитудные хараткеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU

Параметр	Импеданс	Диапазон 10 В	Диапазон 40 В
Амплитуда на выходе	50 Ом - 1 МОм	-10 В...+ 10 В	-40 В...+40 В
Амплитуда на выходе	50 Ом - 50 Ом	-5 В...+ 5 В	-20 В...+ 20 В
Точность	±(0,5% + 10 мВ)	±(0,2% + 20 мВ)
Разрешение	50 Ом - 1 МОм
Разрешение	50 Ом - 50 Ом
Уровень шума, скз (типичное)	±(0,3% + 1 мВ)	±(0,1% + 5 мВ)
Выходной импеданс	50 Ом	50 Ом

Временные и частотные хараткеристики генератора 4225-PMU и 4220-PGU

Параметр	Диапазон 10 В (только генерация)	Диапазон 10 В (с измерением)	Диапазон 40 В (только генерация)	Диапазон 40 В (с измерением)
Частотный диапазон	1 Гц...50 МГц	1 Гц...8,3 МГц	1 Гц...10 МГц	1 Гц...3,5 МГц
Временное разрешение	10 нс	10 нс	10 нс	10 нс
Джиттер, скз (типичное)	0,01% + 200 пс	0,01% + 200 пс	0,01% + 200 пс	0,01% + 200 пс
Период	20 нс...1с	120 нс...1с	100 нс...1с	280 нс...1с
Длительность импульса	10 нс...(период - 10 нс)	60 нс...(период - 10 нс)	50 нс...(период - 10 нс)	140 нс...(период - 10 нс)
Программируемое время перехода	10 нс...33 мс	20 нс...33 мс	30 нс...33 мс	100 нс...33 мс

Измерение тока (4225-PMU)

Параметр	Диапазон 10 В		Диапазон 40 В
Диапазон измерения тока	10 мА	200 мА	100 мкА	10 мА	800 мА
Точность	±(0,25% + 100 мкА)	±(0,25% + 250 мкА)	±(0,25% + 1 мкА)	±(0,5% + 100 мкА)	±(0,25% + 3 мА)
Шум	15 мкА	50 мкА	75 нА	5 мкА	200 мкА

Измерение тока (4225-RPM)

Параметр	Диапазон 10 В
Диапазон измерения тока	100 нА	1 мкА	10 мкА	100 мкА	1 мА	10 мА
Точность	±(0,5% + 1 нА)	±(0,5% + 1 нА)	±(0,5% + 30 нА)	±(0,5% + 100 нА)	±(0,5% + 1 мкА)	±(0,5% + 10 мкА)
Шум	200 нА	2 нА	5 нА	50 нА	300 нА	1,5 мкА

Измерение напряжения (4225-PMU и 4225-RPM)

±10 В 4225-PMU	±40 В 4225-PMU	±10 В 4225-RPM
Точность	±(0,25% + 10 мВ)	±(0,25% + 40 мВ)	±(0,25% + 10 мВ)

Для ультрабыстрого тестирования NBTI/PBTI полупроводников рекомендуется опция 4200-BTI-A. Это идеальное средство автоматического тестирования не только на уровне подложки, но и при использовании кассет.
Опция 4200-BTI-A включает в себя: